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TiO2薄膜制备与性能


目录 中文摘要............................................................ 1 英文摘要............................................................ 2 1 绪论............................................................. 3 2 国内外研究文献综述............................................... 5 2.1 TiO2 的结构 .................................................. 5 2.2 TiO2 薄膜亲水性原理 .......................................... 5 2.3 相关参数对 TiO2 薄膜结构及其性能的影响 ........................ 6 2.3.1 晶粒尺寸............................................... 6 2.3.2 结晶度和晶格缺陷....................................... 6 2.3.3 表面积和表面预处理 ..................................... 6 2.3.4 表面羟基............................................... 6 2.3.5 薄膜厚度............................................... 7 3 实验部分......................................................... 8 3.1 实验系统介绍 ................................................ 8 3.2 衬底的选择及清洗 ............................................ 9 3.3 直流磁控溅射制备 TiO2 薄膜的实验步骤 .......................... 9 3.4 亲水性测试 .................................................. 9 4 实验结果及参数讨论.............................................. 10 4.1 氧流量对 TiO2 薄膜的工作曲线的影响 ........................... 10 4.2 溅射功率的选择及其对薄膜的性能影响 ......................... 11 4.3 总气压对薄膜性能的影响 ..................................... 13 4.4 氧氩比对薄膜亲水性的影响 ................................... 13 4.5 基片温度对薄膜性能的影响 ................................... 14 4.6 热处理对薄膜性能的影响 ..................................... 16 结论..........................................................

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