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扫描探针显微镜系统


扫描探针显微镜系统

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该系统功能有: 1、扫描隧道显微镜 2、原子力显微镜 3、液相原子力显微镜 4、导电原子力显微镜 5、扫描探针声学显微镜 6、压电力显微镜 7、力调制成像 8、纳米加工与操纵 9、加热台系统 10、磁力显微镜/静电力显微镜
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1、扫描隧道显微镜(STM)
STM是根据探针和样品之间由于隧道效应产生的 隧道电流进行成像的; 样品:必须是导电的; 探针:直径约0.25mm,常用的有铂铱合金、 钨 探针

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2、原子力显微镜(AFM)

AFM是利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与 样品原子之间的作用力,来呈现出样品的表面形貌, 具有原子级的分辨率。与STM相比,样品可以是导体 也可以是非导体。

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3、液相原子力显微镜

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4、导电原子力显微镜

在其模式下,扫描时,
同时得到: (1)表面形貌像; (2)电流像或电阻像. 故其是一种在纳米级

上分析样品电学特性的
重要检测技术。
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二、扫描探针显微镜
5、扫描探针声学显微镜 (1)有扫描探针显

微镜的高分辨率表面
成像优势 (2)有扫描声学显 微镜的非破坏内部成 像特点。

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二、扫描探针显微镜
6、压电力显微镜

其是检测铁电样品压电性能 的一种新技术,利用其可在纳米 尺度上得到铁电样品的压电性能 空间分布。

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7、力调制成像模式

其是研究样品表面上不同硬度和
弹性区域的SPM技术,也是得到两个信 息:形貌信息和力调制数据。使用力

调制技术在那些形貌特征差别不大的
表面上,进行表面相对弹性的观察是 很有意义。

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