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高通量表征膜薄膜材料的厚度在图书馆数字全息显微镜


高通量表征膜薄膜材料的厚度在图书馆数字全息显微镜
耀卫丽 1,2 ,迈克尔·克劳斯 2 ,阿兰·萨文 2 ,矽格 Thienhaus2 ,Nektarios Koukourakis3,马丁 ? 霍夫 1.3,阿尔弗雷德·路德维希 1.2 1.研究部的小规模系统/高温材料的完整性,44780 波鸿,德国波鸿鲁尔大学, 2.主席为材料,微系统,波鸿鲁尔大学材料研究所,44780 德国波鸿 3.44780 波鸿,德国波鸿鲁尔大学,光子学和太赫兹技术, 电子邮件:alfred.ludwig rub.de 2011 年 6 月 21 日 接受 2011 年 8 月 1 日出版 发布 2011 年 9 月 23 日 在线 atstacks.iop.org/STAM/12/054201 摘要 基于数字全息映射膜的高通量表征技术厚度的薄膜材料的图书馆开发。数字 全息显微镜 用于全自动具有纳米图案化的薄膜的厚度的测量分辨率。方法有几个显着的优 点,比传统的手写笔轮廓:它是接触式和快速的,基板弯曲进行补偿,并在实验 安装很简单。 图案的薄膜通过不同的组合薄膜的方法特征调查,并演示了这种方 法。结果表明,这种技术快速,可靠,高通量的测定薄膜的厚度是有价值的分布 在组合材料的研究。重要的是,它也可以被施加到薄膜片已被阴影遮蔽结构。 关键词:薄膜,高吞吐量的特性,组合材料科学,

1.介绍 组合方法有助于发现和优化的新功能材料(如。[1 - 4])。在这种方法,下面 的合成材料库,高通量、快速和可靠的技术需要描述属性的个人材料合成了。膜 厚度是一个基本参数,这都是十分重要的调节沉积过程(如沉积速率和均匀性)和 计算体积的电影供以后定量表征。 接触唱针轮廓测定法是最常见的技术为使高通 量厚度测量。 它使用一个机械加载笔确定高度整个扫描区域变化与纳米分辨率和 需要定义良好的步骤捏造的,例如, 通过光刻、薄膜沉积和一个离地升空过程。 然而,机械扫描是耗费时间。例如,一个 300 点扫描一个 4 英寸晶片可以采取 6 10 小时,或者更多,这取决于长度和速度的每一个个人测量,桌子运动时间达到 每个后续点。 数字全息显微术(DHM)分析了干扰模式的一个光束分散的对象,与一个连贯 的参考光束。它最近被使用获得三维(3 d)表面的信息微机电系统(MEMS)[5,6]。 相比与其他光学表面分析技术,如白色光干涉法(连),DHM 也有类似的垂直和横 向分辨率。尽管最大的可测量的步骤高度的限制是 DHM 波长的光源,缺乏高精度 移动组件


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