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为普通探针台增加样品温控的方案(Instec)


美国 Instec

为普通探针台增加样品温控的方案
2015.08.17

1. 方案简介 使用美国 Instec 高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘作为样品温控环境,温控装置放在探针台的样品 台上使用。 2. 优势介绍 本方案能让平常只能在常温下进行样品电测试的探针台, 增加样品温控的功能。 这样有几个好处: 【一】 成本低。 在探针台上多加个高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘就能做温控条件下样品探针测试, 相当于一个温控探针台; 【二】技术权威。Instec 冷热台控温好,-190℃~600℃上下通吃,稳定性不差于 0.05℃,台面温 度低梯度,表面粗糙度低。台面能接地能电悬空,设备还能通 3 轴接口。这是出自美国名校科罗拉多 大学的 Instec 其 30 年经验历史保证; 3. 方案用途 用于测定给探针台提供样品温控功能,和探针台组合成温控探针台用。 4. 实验样品 需要在温控环境下进行电性能测试的探针台样品。

美国 Instec

5. 使用仪器 此解决方案需要于和用户自己的探针台搭配。 方案使用到的 Instec 仪器有: 美国 Instec 高低温晶圆夹盘系列 (或也可使用 Instec 冷热平板为其样品控温) 6. 方案介绍 本解决方案提供的高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘可放置 于探针台上使用,样品放置于温控装置上使用。 本解决方案提供的 Instec 高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘 型号尺寸多样,右图为原型夹盘和方形夹盘的。 Instec 高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘内部有电热加热元 件, 如果要制冷就需要液氮泵+液氮罐, 液氮不直接与样品接触, 而是直接在加热器下面埋设的闭合回路里走一圈就出来,出来 的时候已经蒸发成氮气了。不过对于半导体温控装置(帕尔贴 效应制冷) ,电热加热元件就被换成了帕尔贴温控元件,加热/ 制冷都可以实现。 放任温控装置处于高温状态会损坏周围仪器甚至伤人, 所 以需要对温控装置外壳降温。 半导体温控装置在制冷时会把内 能从内部引到外部,外壳会变烫,所以对其外壳降温也同样是 必须的。

7. 实验步骤 1) 连接设备,开机预热。打开 WinTemp 温控软件 2) 将高低温晶圆夹盘置于探针台的样品台上, 将待测样品 高低温晶圆夹盘上 3) 使用真空机抽吸空气,使得待测样品真空吸附于高低温晶圆夹盘上,使得高低温晶圆夹盘真空 吸附于探针台的样品台上 4) 操作软件进行温控,同时操作探针台对样品进行电性能测试 5) 操作软件,将温控数据信息保存至文件夹 8. 售后服务 售后服务和维修由上海恒商精密仪器有限公司提供。 产品一年质保,终身服务。远程咨询和软件升级免费。


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