当前位置:首页 >> 能源/化工 >>

扫描探针显微镜的最新技术进展及应用


第 19 卷 第 1 期 2000 年 2 月

电 子 显 微 学 报 Journal of Chi nese Electron Microscopy Society

V ol-19, N o. 1 2000-02

文章编号: 10006281( 2000) 01-00690075

扫描探针显微镜的最新技术进展及应用
赵清亮 王景贺 李 旦 董 申
( 哈尔滨工业大学精密工程研究所, 哈尔滨 150001)
摘 要: 本文在讨论 SP M 基本原理和应用 的基础上, 详 细介绍了近期 SPM 的最新技 术进展和 成像 模式以及 拓展的应用领域, 使我们能对 SP M 有一个全新的认 识和了解, 以 便把它们更好地应 用到研 究领域中。 关键词: 扫描探针显微镜; 原子力显微镜; 表面应用; 成像原理 ; 工作模式 分类号: T N 16  文献标识码: A

扫描探针显微镜( SP Ms) 是用来探测表面性质的仪器家族, 是由 Binnig 和 Rohrer 等人最早 于 1982 年发明 。 虽然 SP M 在目前可以测量许多表面的其它性质, 但是揭示表面形貌一直是它 的主要应用目的。SPM 是我们这个时代中最为有力的表面测量工具, 其测量表面特征的尺寸可 以从原子间距到 100 微米之间变化。随着 1986 年原子力显微镜( AF M ) 的出现[ 2] , 相继出现了许 多同 ST M 和 AF M 技术相似的新型扫描探针显微镜。主要有扫描隧道电位仪( ST P ) 、 弹道电子 发射显微镜( BEEM ) 、 扫描离子电导显微镜( SICM ) 、 扫描热显微镜( ST hM ) 、 光子扫描隧道显微 [ 3] 镜 ( PST M ) 和扫 描近场 光学显 微镜 ( SNOM ) 等 , 这些 SPM 镜群的 出现, 极大地 拓展 了它 们的应用空间。 AFM 为代表的 SFM ( 扫描力显微镜) 是通过控制并检测针尖-样品间的相互作 以 用力, 例如原子间斥力、 摩擦力、 弹力、 范德华力、 磁力和静电力等来分析研究表面性质的, 相应 的扫描力显微镜有原子力显微镜( AFM ) 、 摩擦力显微镜( L FM ) 、 磁力显微镜( M FM ) 和静电力显 微镜( EFM ) 等。近年来, SFM 正在向检测材料不同组分的方向努力, 并出现了力调制( Force M odulat io n ) 技术及相位成像技术( Phase Imaging ) , 这对于人们在极高的分辨率上研究物质的 组成提供了一种强有力的手段。这些 SPM 特殊功能的发展无不得益于新技术在此领域的应用。 本文就几种有突出作用的技术及应用情况作一介绍。
[ 1]

SPM 用于材料分析方面的特殊功能
1. 力调制显微镜( Force Modulati on Microscope) FM M 是用来检测被测表面的机械性质诸如表面硬度及弹性强度。同 L F M( 横向力显微镜) 和 M F M ( 磁力显微镜) 一样, F MM 也可以同时得到表面形貌信息及材料性质数据。对于 FM M 来说, 微悬臂上的针尖同样品表面进行接触式扫描, 至于恒力接触式 AFM , Z 路反馈回路利用微 悬臂位移信号来保持针尖与样品间的力恒定, 这样可以得到形貌图像。 一个致动器振荡样品或者 针尖, 被调制的微悬臂的振动幅值取决于这种振荡随样品表面弹性模量的变化情况, 如图 1 所 示。 系统会产生一个反映样品硬度分布的 F MM 图像, 硬度的分布情况是被调制的微悬臂振幅 的反映。加载的振荡信号频率在几十到几百 kHz 之间, 快于反馈回路的跟踪速度, 所以, 形貌信 息可以同样品的局部硬度信息分离出来, 因此两种图像便可以同时得到。 振荡信号可以加到样品或者针尖上( 分别称为样品调制和针尖调制) 。样品调制技术是把一   收稿日期: 1998-10-20; 修订日期: 1998-12-25

   70

电 子 显 微 学 报

第 19 卷

个压电陶瓷致动器置于样品下方, 驱动样品以恒定频率振荡因此可以同时驱动微悬臂振荡, 这种 振荡信息被系统电子组件捕获经处理便可成像。针尖调制技术则是直接把振荡信号加于针尖而 探测出的表面硬度信息。以前的力调制技术大都以针尖调制, 而目前则是以样品调制为发展方 向, 因为对于硬度比较高的样品针尖调制将无能为力, 而样品调制则可产生可靠的结果。

图 1 力调制显微镜工作原理图 F ig . 1  T he amplitude of cantilev er o scillation var ies accor ding to the mecha nical pro per ties o f the sur face.

图 2 相位检测显微镜工作原理图 F ig . 2 T he phase lag v aries in response to the v isco ela st icity of a sample ’ sur face. s

  力调制技术可以应用于复合材料、 结构材料、 橡胶和塑料、 粘质层、 薄膜涂层、 镀膜、 亚表层结 构、 表面杂质、 润滑薄膜以及细胞、 分子、 植物和结构生物学的研究。 2. 相位检测显微镜( Phase Detection Microscope) 相位检测指的是监测驱动样品或微悬臂振荡的周期性信号与被检测到的微悬臂响应信号的 相位差的变化, 或者叫相位滞后以反映样品表面粘弹性的差异, 如图 2 所示。相位检测成像可以 在任何微悬臂振荡模式下进行比如非接触式 AFM 或者 MF M , 同时也包括 F M M。相位检测信 息可以和力调制图像同时获得, 因此样品表面形貌特征、 弹性模量和粘弹性等信息可被同时捕捉 以便进行对比分析。用户可以有选择性地对样品和微悬臂进行振荡以同时得到形貌、 幅值( 硬 度) 和相位( 粘弹性) 等表面信息, 样品上任何位置的相位及幅值能谱都可同时获得。 大量研究结果表明, 相位成像对于相对较强的表面摩擦和粘附性质变化的反应是很灵敏 的 。 目前, 虽然还没有明确的相位差与材料单一性质间的确定性关系, 但是实例证明, 相位成像 在较宽的应用范围内可以给出很有价值的信息。它弥补了力调制和 L FM 方法中有可能引起样 品破坏和较低分辨率的不足, 可提供更高分辨率的图像细节, 还能提供其它 SFM 技术所揭示不 了的信息。 相位成像技术在复合材料表征、 表面摩擦和粘附性检测以及表面污染发生过程的观察 研究中的广泛应用表明, 相位成像定会在纳米尺度上研究材料的性质中起到重要作用 。 3. 静电力显微镜( Electrostatic Force Microscope ) 静电力显微镜是在样品和针尖之间施加一个电压, 同时微悬臂悬浮在样品表面上方不进行 接触, 当微悬臂扫描通过静电荷区域时会发生偏转, 如图 3 所示。 EFM 描绘样品表面的局部电荷域, 这种工作方式同 M FM 描绘样品表面的磁畴结构相似。 微悬臂偏转的幅值与表面的电荷密度正比例, 因此用标准光束反射系统便可测量。EF M 是用来 研究表面的电荷载体密度的空间分布变化情况。例如当一个静电芯片被用作开关装置时 EF M 可以被用来探测其静电场。这种技术被称作“ 电压探针” 并被认为在亚微米量级上测试生物微处 理器的一个很有价值的工具。
[ 5] [ 4]

第 1期

赵清亮等: 扫描探针显微镜的最新技术进展及应用

   71

 图 3 静电力显微镜工作原理图  F ig . 3 T he pr inciple diag r am of electro static for ce micro sco pe.

 图 4 磁力显微镜工作原理图  F ig . 4 M FM m aps the mag netic do mains o f the sample surface.

4. 磁力显微镜( Magnetic Force Microscope) M FM 是对样品表面的磁力空间分布成像的。此时, 针尖被涂了一层铁磁性薄膜, 系统工作 于非接触模式, 检测依赖于针尖-样品间的磁场变化所引发的微悬臂共振频率的变化, 可参考图 4。MF M 可以用来对天然及人工制作的磁畴结构进行成像。 用一个磁化的针尖扫描而成的像包含了表面形貌及磁性质的信息, 这主要取决于针尖与样 品间的距离, 因为原子间的磁力所发生作用的距离要大于原子间范德华力发生作用的距离, 所以 当针尖靠近样品表面时以非接触 AF M 进行工作得到的是形貌信息, 当针尖与样品间距增大, 磁 力便显现出来。 同时以不同的针尖与样品间距获得的信息是分离表面形貌与磁力像的办法之一。 磁力显微镜主要应用于磁介质与材料的研究, 前者包括磁畴结构、 表面形态、 媒体噪声、 读写 磁头, 磁记录体系等, 而后者包括亚表层磁结构、软” “ 磁材料和永磁材料的退火影响等。

微悬臂( Cantilever) 工作方式的改进
磁性 AC 模式( M AC M ode) 是用一个振荡的磁场来驱动一个被磁化的微悬臂。产生磁场的 线圈被置于样品台下方, 基本原理同其它的 AC 技术大致相同, 即微悬臂被高频驱动, 样品的形 貌被振荡信号的幅值及相位的变化所反应。 但是 M AC 最大的优点就是在液体中成像, 因为此时 只有微悬臂被磁场直接驱动, 这样为了克服液体阻尼而使微悬臂夹持架以大幅值振动的问题不 复存在, 背景噪声也被消除, 信噪比提高了, 而高的信噪比意味着更小的振荡幅值可以被利用, 因 此可以减小对样品的损伤及保持针尖的纵横比, 同时分辨率也被大大提高了。 如图 5 所示的示意 图及图 6 的噪声响应( 对于针尖的直接驱动, 没有样品夹持器或其它显微镜组件被驱动, 可以达 到原子级分辨率) 。 噪声影响: 当有噪声影响时, 轻敲模式下被振荡的微悬臂可以有以下几种反应: ( a) 期望情况: 当针尖接触到样品表面时幅值急速下降为零。 ( b) 典型反应: 当微悬臂接触到样品表面时仍有一大部分背景噪声驻留。 ( c ) 最坏情况: 即使在针尖接触到表面时也不改变幅值。 而 M AC 模式总能保持在( a ) 种情况。 AFM 针尖与表面的相互作用: 当 AF M 针尖对某一表面扫描工作时将与之发生作用, 作用

   72

电 子 显 微 学 报

第 19 卷

图 5 微悬臂磁性 A C 模式工作原理图 F ig . 5  M A C M o de A FM uses a so lenoid under the sam ple to dr ive a ma gnetically coated cantilever .

图 6 微悬臂对于噪声影响的不同响应 F ig . 6 V ar ies w ays an oscillat ing cantilev er can r espond w hen driven acoustically .

能 E= 1/ 2K X 2 , 即当一个拥有 1N/ m 弹性系数的针尖偏转 0. 1nm 时的作用能为 5×10- 21J, 这相 当于在室温下以振荡模式工作的热能消耗, 因此 AF M 的灵敏度便受到限制。 而在 AC 模式下工 作的微悬臂上针尖与样品表面的作用能为 E = 1/ 2K ( X 2 - ( X 0 - X ) 2 ) , 这里 X 0 是自由幅值而 X 0 是测量到的幅值变化。在 AC 技术中比如液体中的轻敲模式( T apping M ode ) , X 0 的典型值可以 高达 20nm 而幅值变化量则至少有 2nm , 这会导致高达 4×10 J 的接触能, 超过热限制值 1000 倍, 对于 M AC 模式来说, 典型的 K 值为 0. 1N/ m, X 0 = 5nm , X = 0. 3nm , 存在的作用能大约为 10
- 19 - 7

J, 比噪声屏蔽技术( AC) 要小 400 倍。

扫描电容显微镜( Scanning Capacitance Microscope)
SCM 是扫描探针显微镜的一个很重要的扩展。它类似于 SIMS ( 二次电子质谱仪) 、 ( 分 SRP 布电阻轮廓仪) 及 CV ( 电容- 电压) 。后几种能以极高的分辨率和精度提供半导体搀杂体或载流 子的密度, 但只能是一维的。 SCM 却能在不损失分辨率和精度的情况下, 同时提供 AF M 图像及 搀杂体和载流子的二维信息, 这对于半导体器件的研发及制造极具价值。 SCM 的主要应用领域包括: 以纳米尺度对载流体密度成像, 因为半导体器件的工作基于载 流子对所加电场进行反应而产生的运动, 能直接观测这种运动的情况对于常见的分析性问题可 提供直接的证据。严格的尺度确定性对于半导体的正常运作是很重要的, 目前除了 SCM 还没有 什么手段能够得到, SCM 可以探测到在 M OSFET 门下的 P N 结的位置, 这样便可以对半导体失 效的分析找到真实的证据。 总之, 对于半导体器件的失效分析、 加工处理的合理性、 硅片的缺陷分 析等, SCM 都能发挥出极大的作用。 其工作原理是: 一个超高频谐振电容传感器是进行 SCM 工作的基础, 谐振器通过一根导线 联接到微悬臂/ 针尖组件上( 针尖涂有金属膜) , 见图 7。当谐振的针尖同半导体接触时, 传感器、 导线、 针尖及样品上靠近针尖的载流体都变成谐振器的组成部分, 这意味着针尖与样品间的电容 及其变化量被加载到导线的末端并能改变系统的谐振频率。谐振频率较小的变化可以引发谐振 传感器输出信息很大的变化, 最高的灵敏度可以小到 10- 18法拉。 SCM 通过在接触扫描的 AF M 针尖与样品之间施加交流电场便可在样品上靠近针尖的部 分产生必要的电容变化, 并能同时得到最终的电容变化结果, 这些是通过对半导体加以上千赫兹 的交流偏压实现的。 由于交流变化的电场, 半导体中在针尖下方的自由载流体被针尖交变性地吸

第 1期

赵清亮等: 扫描探针显微镜的最新技术进展及应用

   73

附和排斥, 这些在针尖下方交替进行积聚和耗尽的载流体可以等价于移动中的电容极板, 如图 8 所示。因为电容反比于极板之间的距离, 这种运动所导致的电容变化会加载到谐振传感器系统, 截取频率的幅值和相位便得到 SCM 图像。

图 7  SCM 检测系统原理图 F ig . 7 SCM detection system schematic.

图 8  SCM 改 变电场时从积聚到耗尽的变化 F ig . 8 Chang e fro m accumulatio n to depletion.

应用 SPM 的纳米压痕及刻划功能进行硬度及磨损测试
纳米压痕( Nanoindentat ion ) 是最近 SP M 生产商开发出的又一新功能。把一个金刚石针头 镶嵌在有金属衬底的微悬臂上, 压入某一表面并且可以对压痕立即进行成像, 这种实时的成像能 力使人们不再需要移动样品、 更换针尖或者用另外一个不同的仪器对其成像。 因为压痕只涉及到 微悬臂的介入, 所以进行宽范围弹性常数的材料压痕实验可通过更换微悬臂获得。 压痕微悬臂和 正常的 AFM 微悬臂有很大的区别。 对于接触模式、 轻敲模式和压痕所使用的微悬臂的弹性常数 分别为 1N/ m 、 100N/ m 和 300~800N/ m , 压痕微悬臂同时也更厚、 更宽、 更长, 由不锈钢制造, 而 普通的 AF M 微悬臂则是由硅或氮化硅制成。虽然纳米压痕微悬臂具有极高的弹性常数但仍能 保持热漂移的稳定, 这样即使在纳米级的深度也可以进行良好重复性及再现性的纳米压痕实验。 镶嵌于微悬臂末端的金刚石针尖的曲率半径大约为 100 nm , 其共振频率大致为 20~80kHz , 这取 决于微悬臂尺寸及金刚石针尖的大小。微悬臂的外形及尺寸见图 9。 其工作原理为: 先用轻敲模式进行 AF M 成像以选取感兴趣的区域, 然后选择压痕工作模式 并且输入一个微悬臂的偏移值, 关掉轻敲模式并且使扫描器带动金刚石针尖逼近表面, 针尖被压 入表面直到微悬臂的偏移值达到预设值, 然后针尖被撤回到达其初始位置。压入过程中, 借助微 悬臂的偏移值 和扫描器伸长 量绘制出力-距 离曲线。接着退出压痕工作模式重新激发轻 敲模式便可以对压痕进行成像。至于刻划模 式基本等同于纳米压痕, 只是进行压痕 工作 时扫描器停止水平扫描, 刻划模式停止 横向 扫描而进行纵向扫描, 待输入刻划参数 比如 力、 长度和方向后便可进行刻划, 此时微悬臂 停止振荡, 针尖被压入表面直到达到预 定的 微悬臂偏移值, 然后探针按照预设值横 向移    图 9 压痕微悬臂形状及尺寸示意图 动即可。 纳米压痕及刻划的应用领域包括一些薄

    F ig . 9  T ypical indent atio n cantilev er with dimensio ns.

   74

电 子 显 微 学 报

第 19 卷

膜机械性质的测量, 比如金刚石薄膜, 也可对一些材料进行硬度及磨损的测试。

SPM 的计量化
在最初的发展阶段, SP M 重点用于描绘被测量的表面, 通过对这种描绘所观测到的各种物 理现象进行分析研究, 使得人们获得了重要的新的表面科学知识。 但用这种描绘不能获得更加准 确, 具有测量不确定度的计量意义的科学数据, 而目前不论是科学领域的研究还是工业上的需 要, 都迫切希望 SP M 能作为一种定量的计量型显微镜。尤其是在工业技术方面, 希望 SPM 能作 为开拓解决工艺技术问题的新工具, 如用于半导体工业和超精密加工技术。为此, 现在的 SP M 还需要解决两个问题: ( 1) 作为计量型显微镜, 必须能满足相应科学计量仪器的技术要求: ( 2) 所 得的测量量值必须能溯源到计量基准上。 这种计量化实质上就是对 SPM 的三个移动轴必须用一个计量标准( 如台阶样板、 石墨原子 结构、 水平格栅样板) 进行校准或进行绝对测量。下面就对这两种定量方法进行简要的阐述。 ( 1) 用一个计量标准进行校准比较简单, 就是以一个拥有已知尺寸的试件作为评定物, 比如台阶 样板、 光栅、 石墨等。 比如: 若在每毫米内有 600 条光栅线, 那么经 AFM 或 ST M 检测所得到的图 像中通过查光栅线的条数便可得到 XY 向上的尺度, 同理对于石墨而言则是查出碳原子在 XY 向 上的个数即可, 因为我们已经知道碳原子的间距及大小。在 Z 向上可以用台阶样板的高度差或 石墨原子的垂直原子大小及其间距进行标定。这种方法简单却不可靠, 尤其是在 Z 向上, 因为如 前所述, 每种被测试样都会因表面物理量的差异而引发探针运动的不确定性, 从而导致 Z 向成 像上的差异。 但就目前的技术状况, 大多数标定是利用这种被动的标定方法。 2) 这种方法就是利 ( 用精密位移传感器来准确测量出 SP M 的扫描体在 XYZ 方向上的扫描位移值, 因此便可以给所 得到的图像加以硬性的主动标定, 这样我们便可以在确定已知的空间域来分析被测表面的形貌 特征。通常所用的传感器有电容式位移传感器、 激光干涉仪等 [ 6] , 它们都能提供很高的分辨率和 精度, 图像标定的准确性也比较好。中国计量科学院的赵克功、 高思田与德国联邦物理技术研究 院的 M . Bienias、 Hasche 等人联合研制成功了国际上第一台在纳米测量中, 在中等测量范围 K. 内具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统。可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微 镜 。图 10 为简化了的干涉测量系统结构原理图。干涉三维测量系统绝大部分光学部件安装 在一个圆筒内, 该圆筒将测量工作台与弹性位移台的三维移动部分连接在一起。从图 10 左边 的部分可以看到带有测量工作台及三个压电陶瓷驱动器的扫描部件。 10 的右边部分是干涉系 图 统的示意图。在测量工作台的背面固定了一个立体平面反射镜, 作为干涉测量系统的测量反射 镜, 它与测量工作台一起移动。通过这种方法 便可实现 AFM 的绝对测量。 日本国家计量研 究 室 的 T oru F uji、 Masataka Yamag uch、 Masat oshi Suzuki 等人也已经利用光学干涉 仪监测扫描管的三维 移动, 这种监测能把扫 描陶管的非正交性和阿贝误差降低到最低限 度, 也就是说这种机制不仅对所生成的图像 进行了三维的标定, 同时也对误差的产生进
图 10 三维激光干涉系统示意 F ig . 10 Illustr atio n o f 3-Dim laser inter ference sy stem.
[ 7]

行了控制 [ 8] 。 可以断言, SP M 的计量化将是其 发展的又一次飞跃。

第 1期

赵清亮等: 扫描探针显微镜的最新技术进展及应用

   75

结  论
以上对 SP M 的特殊工作模式及技术上的最新进展作了介绍。同其它表面分析技术相比, SPM 有着诸多优势, 不仅可以进行高分辨率的三维表面成像和测量, 还可对材料的各种不同性 质进行研究。同时, SPM 正在向着更高的目标发展, 即它不仅作为一种测量分析工具, 而且还要 成为一种加工工具, 也将使人们有能力在极小的尺度上对物质进行改性、 重组、 再造, SPM 对人 们认识世界和改造世界的能力将起着极大的促进作用。同时受制其定量化分析的不足, 因此 SPM 的计量化也是人们正在致力于研究的另一重要方向, 这对于半导体工业和超精密加工技术 来说有着非同一般的意义。 参 考 文 献

[ 1] Binnig G, Rohr er H , Ger ber et al . A ppl. Phys . Let t . , 1982, 49( 57) ∶726. [ 2] Binnig G, Quate C F and G erber C . Phy s . Rev . L ett . , 1986, 56∶930. [ 3] 白春礼. 扫描隧道显微术及其应用 . 上海: 上海科技出版社, 1992. p91. [ 4] M aiva ld P, Butt H J, Co uld S A C et al. N ano techno lo gy , 1991, 2∶103. [ 5] 白春礼, 田芳. 扫描力显微镜. 现代科学仪器, 1998, 12∶79-83. [ 6] G r iffith J E , M iller G L and Gr een C A . A scanning tunneling micr osco pe w ith a capacitancebased mo nito r. J. Vac. Sci. T echnol. , 1990, B8( 6) . [ 7] Bienias M , Hasche K , Seemann R, 赵克功, 高思田. 计量型原子力显微镜. 计量学报, 1998, 19( 1) ∶1-8. [ 8] T or u Fuji , M asat aka Ya maguchi and M asatoshi Suzuki. Scanning tunneling micro sco pe w it h threedimensio nal inter fer ometer for sur face ro ughness m ea sur ement . Rev . Sci. Instrument, 1995, 66( 3) .

Innovations and developments of scanning probe microscopy
ZH AO Qing -liang  WANG Jing -he LI Dan DONG Shen
( P recision Engineer ing R esea rch Institute, Ha rbin Institute o f T echnolog y, Ha rbin 150001, China) Abstract: T he pr inciples of scanning pr obe m icro sco pe ( SPM ) ar e intr oduced br iefly in this paper , the innov atio ns and developments o f SP M in ter ms o f operation modes and im aging t echniques ar e presented, as well as their applica tio ns in sur face r esear ches and o ther fields a re a lso discussed. As refer to the mater ial pro per ty analy sis, F or ce modulation micr osco pe, Phase det ect ion micro sco pe, Electr ostat ic for ce micr oscope and M ag netic for ce micr oscope could be applied. t he m ain impro vement of cantilever w or k mode is using a so leno id under the sample to driv e a mag netically co ated cantilever . F or t he field o f semico nductor industry , Scanning capacitance micr oscope is a pr omising technique to be used. How ever , nano indent atio n and scr atch using a diamond t ip o f SPM is a w ay to carr y on wear and t ribo lo gy t est w ith real t ime imag inatio n and analy sis. T he metr olog y of SPM is the ultimate g oa l for r esearchers to w or k o n in o rder to r ealize it s absolut e and accur ate measur ement, a nd t his tr end of SP M ’ development is meaning ful for the a pplicatio n field of semiconducto r indust ry a nd ultr aprecisio n s manufact ur ing techno lo gy . Keywords: scanning pr obe micr oscope; A F M ; sur face applicatio n; imag ing pr inciple; operat ion mo de


赞助商链接
相关文章:
高精度光学测量微位移技术综述
测量技术遇到的一个普遍问题是,作为溯源手段,扫描探针显微镜等测量手技术 比现有...高分辨力干涉微位移测量技术 的发展以及新技术在微位移测量中的应用正日益受到...
AFM原子力显微镜技术及应用实验报告
AFM 原子力显微镜技术及应用实验报告 原子力显微技术观测薄膜形貌姓名:吴涵颖 ...当探针在样品表面扫描时,探针与样品表面原子间的排斥力会使得微 悬臂轻微变形,...
现代技术
电子光学微观分析技术、材料表面分析技术扫描探针显微镜技术、材料热分析技术,...4 结束语 随着近代测试技术的不断发展和日益广泛的应用,将会有更 多的测试手段...
纳米科技未来的发展 梦想与现实 --
(STM)、 原子力显微镜(AFM) 等微观表征和操纵技术对纳米科技 的发展起了积极...借助扫描探针显微镜移动原子,构造纳米结构,同时为科学家提供在纳米尺 度下研究新...
纳米材料与技术电子信息技术通识课作业
关键字:纳米电子材料;纳米电子器件;纳米技术 绪论随着微电子技术的发展应用市场...以及后来各种扫描探针显微镜 发明以来,人类对微;纳观世界的认识翻开了新的一页...
原子力显微镜技术及其在细胞生物学中的应用
原子力显微镜技术及其在细胞生物学中的应用 从原子力显微镜的发展,特点,操作模式...原子力显微镜(AFM)就是其中 的一种, 它是扫描探针显微镜(SPM)家族中的一个重要...
纳米测量学与纳米探测技术
纳米测量学发展的途径 (1) 创造新的纳米测量技术,建立新原理、新方法。 纳米...也敏感的扫描探针显微镜,这使得 AFM 在材料领域获得了极为广泛的应用, 只是目前...
先进制造技术论文
关键词:微细加工技术;纳米材料;纳米加工技术;微型机械;发展与趋势、现状 一、...) 3.2 扫描探针显微镜( SPM)及其在纳米加工中的应用纳米加工技术进入实用阶段...
原子力显微镜分析技术在纺织化学与染整工程中的应用
原子力显微镜分析技术在纺织化学与染整工程中的应用_纺织/轻工业_工程科技_专业资料...原 子力显微镜(AFM)是在STM的基础上发展起来的扫描探针显微镜,它 利用原子之间...
现代测量技术
同时,作 为下世纪的重点发展目标, 各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用...因为 扫描隧道显微镜(STM,ScanningTunningMicroscope) 、扫描探针显微镜(SPM, ...
更多相关标签: